人工微结构科学与技术协同创新中心 人工微结构科学与技术协同创新中心微加工中心

导航

  • 首页
  • 中心简介
  • 仪器设备
    • 反应离子溅射
    • SF100无掩膜光刻机
    • PVD75 电子束蒸发
    • Plasmalab 80Plus PEC...
    • ULVAC CE300I电感耦合...
    • IBE150离子束刻蚀
    • PVA TePla等离子体清...
    • MJB4紫外光刻机
    • PVD75 磁控溅射
    • CRX-4K 探针台
    • 80RC 匀胶机
    • DEKTAK 150 台阶仪
    • VM-1220 膜厚仪
    • 7476D 焊线机
    • 国产匀胶机
    • 等离子去胶机test
  • 机时预约
  • 收费标准
  • 通知通告
  • 规章制度
  • 文档下载
  • 管理人员
  • 联系我们
  • 登入
  • 台阶仪

    最后更新:2016-04-13点击数:5744

    厂    商美国 VEECO
    型    号DEKTAK 150
    技术指标扫描长度:55mm  l 垂直测量范围:524μm(标准),最大可达1mm  l 台阶高度重现性6Å, 1σ在1μm台阶上  l 垂直分辨率:1Å(6.55μm范围)  l 探针压力:1~15mg,最小可达1mg  l 探针曲率半径:0.2~25μm  l 全自动样品台:最大4英寸样品,向下兼容;软件控制样品位置,精确定位    
    应用领域主要用于膜厚测量、应力分析和表面形貌分析
    责任工程师

版权所有 © 人工微结构科学与技术协同创新中心 保留所有权利。苏ICP备10085945-1号 南信备64号

人工微结构科学与技术协同创新中心 人工微结构科学与技术协同创新中心collaborative innovation center of advanced microstructures