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台阶仪
最后更新:2016-04-13
点击数:
5744
厂 商
美国 VEECO
型 号
DEKTAK 150
技术指标
扫描长度:55mm l 垂直测量范围:524μm(标准),最大可达1mm l 台阶高度重现性6Å, 1σ在1μm台阶上 l 垂直分辨率:1Å(6.55μm范围) l 探针压力:1~15mg,最小可达1mg l 探针曲率半径:0.2~25μm l 全自动样品台:最大4英寸样品,向下兼容;软件控制样品位置,精确定位
应用领域
主要用于膜厚测量、应力分析和表面形貌分析
责任工程师