微加工中心

导航

台阶仪
最后更新：2016-04-13点击数：5744

厂    商美国 VEECO

型    号DEKTAK 150

技术指标扫描长度：55mm  l 垂直测量范围：524μm(标准），最大可达1mm  l 台阶高度重现性6Å, 1σ在1μm台阶上  l 垂直分辨率：1Å(6.55μm范围)  l 探针压力：1~15mg，最小可达1mg  l 探针曲率半径：0.2~25μm  l 全自动样品台：最大4英寸样品，向下兼容；软件控制样品位置，精确定位

应用领域主要用于膜厚测量、应力分析和表面形貌分析

责任工程师

人工微结构科学与技术协同创新中心collaborative innovation center of advanced microstructures