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  • 离子束刻蚀系统

    最后更新:2016-04-13点击数:6201

    厂    商中国 北京创世微纳
    型    号IBE150
    技术指标离子能量Ei=0 -1000eV离子束流密度峰值Jb≥0.7mA/cm2 台面直径:Φ150mm倾角范围:0°~ 90°±0.5°旋转速率:≥9rpm功能:刻蚀、表面抛光等功能
    应用领域用于刻蚀较难刻蚀的物质及金属
    责任工程师方芬珍

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