扫描长度：55mm
l 垂直测量范围：524μm(标准），最大可达1mm
l 台阶高度重现性6Å, 1σ在1μm台阶上
l 垂直分辨率：1Å(6.55μm范围)
l 探针压力：1~15mg，最小可达1mg
l 探针曲率半径：0.2~25μm
l 全自动样品台：最大4英寸样品，向下兼容；软件控制样品位置，精确定位
扫描长度：55mm
l 垂直测量范围：524μm(标准），最大可达1mm
l 台阶高度重现性6Å, 1σ在1μm台阶上
l 垂直分辨率：1Å(6.55μm范围)
l 探针压力：1~15mg，最小可达1mg
l 探针曲率半径：0.2~25μm
l 全自动样品台：最大4英寸样品，向下兼容；软件控制样品位置，精确定位
