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紫外光刻机
最后更新：2016-04-13点击数：6661

厂商德国 Karl Süss

型号MJB 4

技术指标汞灯光源：350W，350nm~450nm掩模板尺寸：5英寸×5英寸，向下兼容晶片尺寸：最大4英寸，向下兼容接触方式：真空、低真空接触, 硬接触，软接触和接近式对准方式：全手动正面对准，红外光及CCD反面对准最小线宽：0.8μm对准精度：±0.5μm

应用领域利用紫外光源，制作微米尺度的图形

责任工程师陈莉

人工微结构科学与技术协同创新中心collaborative innovation center of advanced microstructures