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紫外光刻机
最后更新:2016-04-13
点击数:
6661
厂 商
德 国 Karl Süss
型 号
MJB 4
技术指标
汞灯光源:350W,350nm~450nm掩模板尺寸:5英寸×5英寸,向下兼容晶片尺寸:最大4英寸,向下兼容接触方式:真空、低真空接触, 硬接触,软接触和接近式对准方式:全手动正面对准,红外光及CCD反面对准最小线宽:0.8μm对准精度:±0.5μm
应用领域
利用紫外光源,制作微米尺度的图形
责任工程师
陈莉