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    最后更新:2016-05-23点击数:172

    厂    商中国 苏州圆芯
    型    号定制
    技术指标衬底尺寸:最大3英寸,向下兼容靶位:3个2英寸(2个射频源;1个直流源)衬底温度:室温至800℃工艺气体:Ar、N2、O2,由MFC控制 
    应用领域用于各种薄膜材料的溅射沉积
    责任工程师黄春玉

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