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反应溅射系统
最后更新：2016-05-23点击数：172

厂商中国苏州圆芯

型号定制

技术指标衬底尺寸：最大3英寸，向下兼容靶位：3个2英寸(2个射频源；1个直流源)衬底温度：室温至800℃工艺气体：Ar、N2、O2，由MFC控制

应用领域用于各种薄膜材料的溅射沉积

责任工程师黄春玉

人工微结构科学与技术协同创新中心collaborative innovation center of advanced microstructures