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反应溅射系统
最后更新:2016-05-23
点击数:
172
厂 商
中国 苏州圆芯
型 号
定制
技术指标
衬底尺寸:最大3英寸,向下兼容靶位:3个2英寸(2个射频源;1个直流源)衬底温度:室温至800℃工艺气体:Ar、N2、O2,由MFC控制
应用领域
用于各种薄膜材料的溅射沉积
责任工程师
黄春玉