紫外光刻机

汞灯光源：350W，350nm~450nm

掩模板尺寸：5英寸×5英寸，向下兼容

晶片尺寸：最大4英寸，向下兼容

接触方式：真空、低真空接触, 硬接触，软接触和接近式

对准方式：全手动正面对准，红外光及CCD反面对准

最小线宽：0.8μm

对准精度：±0.5μm