石英腔室：直径248mm，深245mm，体积11.3L
配备O2和Ar两种工艺气体，MFC控制
极限真空0.07mbar，工作压力0.5-1.5mbar
2.45GHz微波电源，输出功率0～600w可调
控制器选项：基于Windows操作系统的触摸屏界面提供全自动的控制
多工步菜单，实时图形显示，多级别密码进入，数据记录以及所有等离子体参数的实时SPC（统计过程控制）监控
自动工艺菜单或手动等离子体处理
石英腔室：直径248mm，深245mm，体积11.3L
配备O2和Ar两种工艺气体，MFC控制
极限真空0.07mbar，工作压力0.5-1.5mbar
2.45GHz微波电源，输出功率0～600w可调
控制器选项：基于Windows操作系统的触摸屏界面提供全自动的控制
多工步菜单，实时图形显示，多级别密码进入，数据记录以及所有等离子体参数的实时SPC（统计过程控制）监控
自动工艺菜单或手动等离子体处理
