最后更新：2016-04-13点击数:5396
测量范围：1nm～20μm
l 重复性：3μm以下偏差小于0.1nm，3μm以上优于0.03%
l 样品可动范围：200mm
l 光斑：4μm
l 可同时测4层薄膜的厚度
