磁控溅射系统

最后更新：2016-04-07点击数:11459

  • 衬底尺寸：最大4英寸，向下兼容

  • 靶位：4个2英寸

  • 溅射电源：2个射频源；2个直流源

  • 衬底温度：室温至800℃

  • 工艺气体：Ar，由MFC控制

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