最后更新：2016-04-07点击数:42
工艺气体：N2O, SiH4, NH3, N2
l 清洗气体: CF4/O2 混合气体
l 样品尺寸：最大8英寸,向下兼容
l 射频源：高频: 13.56 MHz；低频: 50~450 kHz
l 控温范围：室温至400℃
