汞灯光源：365nm，434nm
镜头：3个（4倍、10倍、20倍）
曝光精度：4倍镜头—5μm，10倍镜头—2μm，20倍镜头—1μm
曝光方法：非接触式，区域曝光
单个曝光区域最大：4倍：1.28×0.96 mm2；10倍：0.512×0.384 mm2；20倍：0.256×0.192 mm2
对准方式：可手动、自动对准
图形尺寸：最大4英寸
接收图形格式：JPEG、Bitmap、DXF(R12)和DWG(R14、LT98/97)
特点：无需掩膜版，可通过画图、CAD等软件画出所需曝光图形
汞灯光源：365nm，434nm
镜头：3个（4倍、10倍、20倍）
曝光精度：4倍镜头—5μm，10倍镜头—2μm，20倍镜头—1μm
曝光方法：非接触式，区域曝光
单个曝光区域最大：4倍：1.28×0.96 mm2；10倍：0.512×0.384 mm2；20倍：0.256×0.192 mm2
对准方式：可手动、自动对准
图形尺寸：最大4英寸
接收图形格式：JPEG、Bitmap、DXF(R12)和DWG(R14、LT98/97)
特点：无需掩膜版，可通过画图、CAD等软件画出所需曝光图形
