最后更新：2016-04-13点击数:235
加速电压5KV-30KV
束流：5-600pA (根据不同的光阑需要)
推荐硅片尺寸小于20mm×20mm
极限曝光尺寸10nm，最小稳定可重复尺寸50nm
最小套刻精度200nm
