最后更新：2016-04-13点击数:6151
离子能量Ei=0 -1000eV
离子束流密度峰值Jb≥0.7mA/cm2
台面直径：Φ150mm
倾角范围：0°~ 90°±0.5°
旋转速率：≥9rpm
功能：刻蚀、表面抛光等功能
