反应溅射系统

最后更新：2016-05-23点击数:179

  • 衬底尺寸：最大3英寸，向下兼容

  • 靶位：3个2英寸(2个射频源；1个直流源)

  • 衬底温度：室温至800℃

  • 工艺气体：Ar、N2、O2，由MFC控制

 

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