最后更新：2016-04-13点击数:5501
真空度：1×10-5Torr
l 温度范围：4.2 K~350 K
l 探针臂数：6个，四个直流探针臂，两个射频探针臂
l 最大样品尺寸：2英寸
测试I/V、C/V、RF
