各位用户好！
1.微加工中心于1月28日起维保并进入寒假模式；
2.微加工中心所属KJL PVD75蒸发溅射、Oxford P80 PECVD、创世微纳IBE（老款IBE）、ULVAC CE300I ICP（常规硅刻蚀）、MJB4光刻机、SF100无掩膜曝光机、匀胶机及热板、台阶仪、膜厚仪、光学显微镜，以及上述设备配套的水电气支持设备正常开放；
3.如果有用户在2月28日后使用超净间，请先同工作人员联系；
4.假期内使用超净间的用户，首先注意安全，其次请按设备操作程序使用设备，并在使用结束后按操作程序关机，并认真检查，最后在离开超净间时关闭照明灯；
5.微加工中心于2月18日开始上班，开启设备；设备经检查正常后对外开放，具体开放时间另行通知。
感谢各位用户对微加工中心的支持，提前祝各位新年愉快，阖家欢乐！
微加工中心
2018-01-18
