人工微结构科学与技术协同创新中心 人工微结构科学与技术协同创新中心微加工中心

导航

  • 首页
  • 中心简介
  • 仪器设备
    • 反应离子溅射
    • SF100无掩膜光刻机
    • PVD75 电子束蒸发
    • Plasmalab 80Plus PECVD
    • ULVAC CE300I电感耦合-反应离子体刻蚀系统(ICP-RIE)
    • IBE150离子束刻蚀
    • PVA TePla等离子体清洗/去胶机
    • MJB4紫外光刻机
    • PVD75 磁控溅射
    • CRX-4K 探针台
    • 80RC 匀胶机
    • DEKTAK 150 台阶仪
    • VM-1220 膜厚仪
    • 7476D 焊线机
    • 国产匀胶机
    • 等离子去胶机test
  • 机时预约
  • 收费标准
  • 通知通告
  • 规章制度
  • 文档下载
  • 管理人员
  • 联系我们
  • 登入

机时预约

背景资料
2016年4月07日
点击数:13084
  • 操作人
  • 付费人
  • 管理员

操作人

没有账号?注册
 

版权所有 © 人工微结构科学与技术协同创新中心 保留所有权利。苏ICP备10085945-1号 南信备64号

人工微结构科学与技术协同创新中心 人工微结构科学与技术协同创新中心collaborative innovation center of advanced microstructures